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MEB FEG JEOL JSM 7100F TTLS LV - EDS/EBSD

Contacts

Claudie Josse , Stephane Le Blond Du Plouy , Arnaud Proietti

Présentation

Le JSM-7100TTLS LV est un microscope électronique à balayage qui possède toutes les performances haute résolution d’un microscope à effet de champ (FEG) avec en plus, la possibilité d’observer des échantillons non conducteurs en pression contrôlée jusqu’à 300Pa.

Tous les échantillons non conducteurs sont observés et analysés sans préparation d’échantillon préalable avec un ensemble de détecteurs : EDS, électrons rétrodiffusés (BSE), EBSD etc. Le mode LV est complètement automatisé.

Outre sa très bonne résolution (1.2nm à 15kV) en imagerie, ce microscope est particulièrement adapté à l’analyse chimique et cristallographique grâce à son fort courant de sonde (jusqu’à 600nA).
Il est équipé d’un spectromètre EDS SDD couplé à un système EBSD HKL.

Caractéristiques Techniques

  • Source à émission de champ type Schottky ;
  • Résolutions : 2nm à 1kV - 1.6nm à 5kV - 1.2nm à 15kV ;
  • Courant de sonde de 1pA à 600nA ;
  • Mesure de courant intégré ;
  • Détecteur d’électrons secondaires type Everhart-Thornley ;
  • Détecteur d’électrons rétrodiffusés aux faibles angles (SRBEI) ;
  • Détecteur d’électrons secondaires en mode Low Vaccum ;
  • Détecteur d’électrons rétrodiffusés en mode Low Vaccum ;
  • Détecteurs d’électrons secondaires et rétrodiffusés in-lens ;
  • Système de nettoyage intégré (plasma cleaner GV10x ASHER de IBSS) ;
  • Détecteur EDS SDD Ultim-Max 100mm² (Oxford Instruments) ;
  • Détecteur EBSD CMOS Symmetry S2 (Oxford Instruments) permettant de traiter jusqu’à 4000 clichés par sec. et équipé de 5 détecteurs FSD ;
  • Couplage entre les systèmes EDS et EBSD ;
  • Date d’acquisition : janvier 2014.


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