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Microsonde Electronique CAMECA SXFive

Contacts

Philippe De Parseval , Sophie Gouy

Présentation

La microsode Cameca SXFive est une microsonde électronique aussi appelée microsonde de Castaing, dernière génération de microsonde de la Société Cameca basée à Gennevilliers. Elle permet de réaliser des analyses quantitatives in situ de la composition chimique de matériaux pour les éléments allant du Be à l’U soit la quasi-totalité de la classification périodique avec des limites de détection de l’ordre de 0,01%.

Les applications sont variées et concernent des domaines dont une liste non exhaustive est présentée ci-dessous :

  • les Sciences de la Terre : Minéralogie, Pétrologie, Géochimie, … ;
  • les Sciences des Matériaux : couches minces, supraconducteurs, composites, semi-conducteurs, bétons, verres, céramiques, … ;
  • la Métallurgie ;
  • la Médecine : Ostéologie, Pneumologie, Odontologie, … ;
  • l’Archéologie : Numismatique, terres cuites, tessons, …

Date d’installation : mars 2014

Caractéristiques techniques

  • Une colonne avec une source à filament de tungstène
  • Tension d’accélération de 1 à 30 kV
  • Diamètre de faisceau en mode analytique : 600 nm @ 15 keV, 100 nA ; 400 nm @ 10keV, 10nA
  • Courant du faisceau maximum : jusqu’à 10 μA
  • Régulation du courant : ± 0.05% par heure à 20keV, 20nA
  • 5 spectromètres WDS avec des cristaux spécifiques pour les éléments légers (B, C, N,O)
  • Un détecteur d’électrons secondaires "multiguide" (marque déposée)
  • Un détecteur d’électrons rétrodiffusés à 6 diodes avec mélange des signaux électroniques.
  • Un détecteur de cathodoluminescence
  • Un stabilisateur du courant de la sonde par boucle de contre-réaction de 0,5 nA à 300 nA. Pilotage du courant de 300 nA à 10μA par cage de Faraday.
  • Système de visualisation optique (lumière transmise, réfléchie, polarisée) couplé avec un zoom et la focalisation automatique
  • Un système de mise sous vide entièrement automatique avec toutes les sécurités nécessaires, comprenant une pompe turbomoléculaire de 300 l/s et une pompe primaire sèche (type Triscroll).
  • Un mouvement-objet automatisé permettant de grands déplacements (50 mm x 80 mm) et comprenant : Un système de positionnement de l’objet par moteur pas à pas (0,1 μm) à contre réaction de position par codeurs optiques (± 0,5 μm).
  • Un système de chargement de l’objet par navette avec un sas d’introduction rapide de l’échantillon
  • Manette "type Joystick" pour piloter les axes X, Y et Z du mouvement objet.
  • Détecteur compact EDS SDD Bruker XFlash 5010 10mm2

Planning de réservation

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